Argon/tetramethysilane PECVD: From process diagnostic and modeling to a-SiC:H hard coating composition - Université Toulouse III - Paul Sabatier - Toulouse INP
Article Dans Une Revue Diamond and Related Materials Année : 2007

Argon/tetramethysilane PECVD: From process diagnostic and modeling to a-SiC:H hard coating composition

Domaines

Physique [physics]

Nathalie Pagès  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://ut3-toulouseinp.hal.science/hal-04109432

Soumis le : mardi 30 mai 2023-10:07:12

Dernière modification le : vendredi 18 octobre 2024-13:44:03

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Dates et versions

hal-04109432 , version 1 (30-05-2023)

Identifiants

Citer

A. Soum-Glaude, L. Thomas, A. Dollet, P. Ségur, M.C. Bordage. Argon/tetramethysilane PECVD: From process diagnostic and modeling to a-SiC:H hard coating composition. Diamond and Related Materials, 2007, 16 (4-7), pp.1259-1263. ⟨10.1016/j.diamond.2006.11.003⟩. ⟨hal-04109432⟩

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